这就好比你要在疾驰的高铁顶上顶着一杯水,还得保证水面连一丝涟漪都没有。
大屏幕上,高摄像机实时传回了微观视角的画面。
彼得瞪大了眼睛,死死盯着屏幕。
“气泡!千万别有气泡!”他在心里疯狂祈祷。
然而,画面上的一幕让他彻底傻眼了。
水流极其顺滑地流过,在空气气帘的约束下,乖巧得像是一块凝固的水晶。
没有湍流。
没有飞溅。
更没有该死的气泡!
“这……这流体控制……”彼得喃喃自语,“这简直就是艺术!它是怎么做到的?它是怎么预判液体流向的?”
他不知道,在小白的算力世界里,每一个水分子的运动轨迹都已经被模拟了上亿次。
这就是“全知全能”。
“流场稳定。”林平安的声音依旧平淡,“开始曝光。”
“滋——滋——滋——”
深紫色的arF激光束穿过复杂的透镜组,穿过那层完美的水膜,狠狠地撞击在涂满光刻胶的12寸晶圆上。
工件台开始疯狂移动。
那是令人眼花缭乱的度,每秒钟移动数百次,还要保持纳米级的定位精度。
“这就是所谓的‘加强版双工件台’技术?”
旁边的一个德国工程师看得目瞪口呆,“这度比以前的asmL的还要快3o%!而且稳得像磐石一样!”
十分钟。
仅仅十分钟,一张晶圆曝光完成。
机械臂将其送入显影机。
所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。
显影完成。
晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
图像被投射到了中央大屏幕上。
那一刻。
车间里响起了一片抽气声。
屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。
线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(LeR)。
“测量线宽!”彼得吼道。
“线宽……45。oonm!”
检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于o。5nm!套刻精度……2nm!”
“轰——!!!”
虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。
“成功了!我们成功了!”
“45纳米!一次成功!上帝啊!”
“这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”
彼得冲到屏幕前,像个疯子一样抚摸着那张图像,眼泪夺眶而出。